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工业生产过程中产生的工业废气，有些废气不仅具有严重的臭气异味而且还具有一些油烟。处理这种工业废气经常会用到低温等离子这两种设备和光氧设备。于是等离子光氧组合而成的废气处理设备应运而生。这种成套的废气处理环保设备综合采用了低温等离子和光氧设备的结合，具有高度的性价比。
等离子光氧一体机工作原理：
废气首先进入等离子模块，通过放电，电子从电场中获得能量，通过非弹性碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，当污染物分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，污染物分子的分子键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的后型自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，同时产生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性极强的O3，能与有害气体分子发生化学反应，最后生成无害产物。生物作用表现在具有消毒杀菌之功效。