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未完全分解的废气再进行光氧设备内部。在光氧设备内部主要分三步对废气进行处理净化：1、光氧设备利用C波段的紫外线光切割、断链、燃烧、裂解废气分子链，改变分子结构，2、C波段紫外线光对废气分子进行催化氧化，反应产生的O3进一步将裂解分化的分子或原子进行氧化反应，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在催化氧化过程中，转变成低分子化合物CO2、H2O等3、光氧设备内部密布着催化剂，催化剂采用蜂窝状金属网孔作为载体，*与光源接触，二氧化钛惰性催化剂可将C波段紫外线光放大10-30倍光源效果，加大废气的氧化反应，使紫外线光与废气进行充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率，催化剂还具有类似于植物光合作用，对废气进行净化效果。
光氧设备是废气处理设备本身清洁无污染，因此在运行和处理过程中不会对周围大气或厂房内部造成任何污染，而只会改善范围内的环境质量，提高大气质量。因此，该设备在设计上也具有全新的技术优势，废气处理技术越来越先进。光氧催化剂设备的原理是，废气处理设备带来的清洁度高，而且能有效地除去可吸入的颗粒，因此在清洗水平上越来越高，从其品质的观点来看会变得更高当它在国内市场推广时，已经得到了大多数客户制造商的认可。